Filmetrics Profilm3D und Profilm3D-200 | Wei?lichtinterferometrie (WLI)

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Filmetrics^? Profilm3D^? Optisches Profilometer

Profilm3D surface topography map of a diamond anvil face

Profilm 3D measurement of surface topography of a bill

Filmetrics^? Profilm3D^? Optisches Profilometer

Die optischen Profilm3D^? und Profilm3D-200 sind erschwingliche, berührungslose, auf Wei?lichtinterferometrie (WLI) basierende 3D-Oberfl?chentopografie-Messsysteme. Die neueste Generation des Wei?lichtinterferometers umfasst neue Bildgebungsmodi, die Leistung und Wert verbessern. Die Interferometer der Profilm3D-Serie messen Oberfl?chen im Nanometer- bis Millimeterbereich mit einer einfachen, flexiblen Rezepturkonfiguration, die einzelne Scans oder automatisierte Messungen an mehreren Messpunkten erm?glicht, um sowohl F&E- als auch Produktionsumgebungen zu unterstützen.

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Produktbeschreibung

Die Wei?lichtinterferometer Filmetrics Profilm3D und Filmetrics Profilm3D-200 erzeugen hochaufl?sende Messungen der Oberfl?chentopografie mit einer Aufl?sung auf Sub-Nanometerebene. Die Werkzeuge unterstützen sowohl vertikal scannende als auch phasenverschiebende Interferometrie. Phase-Shift Imaging (PSI) kann auch mit WLI kombiniert werden, um PSI-Empfindlichkeit über gr??ere Z-Variationen der Oberfl?che zu erm?glichen. Dank der TotalFocus^?-Technologie liefert Profilm3D atemberaubende 3D-Bilder in natürlicher Farbe, bei denen jedes Pixel im Fokus steht. Die neueste Generation des Wei?lichtinterferometers Profilm3D bietet verbesserte Rauheitsbildgebung zur Messung rauerer Oberfl?chen, h?herer Neigungen und Oberfl?chen mit geringerer Reflexion.

Bei der Profilm3D-Messmethode ist die vertikale Aufl?sung der Messung unabh?ngig von der numerischen Apertur des Objektivs, was hochaufl?sende Messungen mit einem gro?en Sichtfeld erm?glicht. Der gemessene Bereich kann weiter erh?ht werden, indem mehrere Aufnahmen zu einer einzigen Messung zusammengefügt werden. Das Profilm3D-Optikprofilometer verfügt au?erdem über eine einfache, innovative Benutzeroberfl?che und automatisierte Funktionen, um eine breite Palette von Arbeitsumgebungen zu unterstützen, von Forschung und Entwicklung bis hin zur Produktion.

Filmetrics Profilm3D high-resolution 3D topographic map

Merkmale

Vertikales Scannen und phasenverschiebende Interferometrie zur Messung von Oberfl?chenmerkmalen von Nanometern bis Millimetern.
TotalFocus 3D-Bildgebung mit optimiertem Fokus für jedes Pixel über den gesamten Messbereich.
True-Color-Imaging erzeugt die tats?chlichen Probenfarben für eine verbesserte Visualisierung, insbesondere für feine oder verborgene Merkmale.
Enhanced Roughness Mode (ERM) erh?ht den Randkontrast für bessere Bildtreue auf geneigten Oberfl?chen wie Objektiven und erm?glicht eine Signalverbesserung für raue Oberfl?chen.
Automatisierter Fokus mit branchenführender langer Piezo-Reichweite für das Scannen mehrerer Oberfl?chen, die durch gro?e H?henabst?nde getrennt sind.
Automatisierter X-Y-Tisch mit langer Reichweite, ideal für Kartierungen und Stitching-Scans

Filmetrics Profilm3D 3D topography map of a sample surface

Anwendungen

Stufenh?he: 3D-Stufenh?he von Nanometern bis Millimetern
Textur und Form: 3D-Rauheit, Welligkeit, Verw?lbung und Form
Texturcharakterisierung
Kanten-Roll-Off: 3D-Kantenprofilmessungen
Fehlerprüfung: 3D-Topografie von Fehleroberfl?chen, Fehlercharakterisierung
Hochaufl?sende Scans über gro?e, transparente Filmoberfl?chen
Hohe Rauheit, geringe Reflexionsf?higkeit, Kratzercharakterisierung

technician using integrated microscope to align a Tencor P-7 stylus profiler for semiconductor wafer inspection

Branchen

Universit?ten, Forschungslabore und Institute
Silizium und Verbundhalbleiter
Pr?zisionsoptik und -mechanik
Medizinische Ger?te
LED: Leuchtdioden
Stromversorgungsger?te
MEMS: Mikroelektromechanische Systeme
Datenspeicherung
Automobilindustrie
Und mehr: Kontaktieren Sie uns mit Ihren Anforderungen

3D surface topography showing step?height feature measured by optical profiler

Stufenh?he

Die auf Wei?lichtinterferometrie basierenden Profilometer der Filmetrics Profilm3D-Serie unterstützen die berührungslose Messung von 3D-Stufenh?hen von Nanometer bis Millimeter. Die vertikale Scanninginterferometrie kann eine gro?e Stufenh?he mit einer Aufl?sung auf Nanometerebene messen. Eigenschaften auf Subnanometerebene k?nnen mit phasenverschiebender Interferometrie schnell gemessen werden. Die Z-Stitching-Interferometrie erm?glicht die schnelle Messung sehr gro?er Stufen mit mehreren hochaufl?senden Scans, die zu einer einzigen Messung kombiniert werden. Diese Vielzahl von Techniken erm?glicht es Benutzern, die Menge an Material zu quantifizieren, die durch Halbleiterprozesse wie ?tzen, Sputtern, Abscheidung, Spin-Beschichtung und mehr entfernt oder abgelagert wird.

Filmetrics Profilm3D image of 3D texture

Textur: Rauheit und Welligkeit

Die optischen Profiler der Filmetrics Profilm3D-Serie erm?glichen berührungslose Messungen der 3D-Textur und quantifizieren die Rauheit und Welligkeit der Probe. Der Phasenverschiebungsmodus ist ideal für sehr glatte Oberfl?chen. Software-Filter trennen die Messung in Rauheits- und Welligkeitskomponenten auf und berechnen Parameter wie die Rauheit im quadratischen Mittel (RMS).

Filmetrics Profilm3D measurement of bow of a surface

Form: Durchbiegung und Form

Die berührungslosen, auf Wei?lichtinterferometrie basierenden Profiler der Filmetrics Profilm3D-Serie k?nnen die 3D-Form oder die Durchbiegung einer Oberfl?che messen. Diese Funktion kann genutzt werden, um den Krümmungsradius einer Linse oder die Form eines medizinischen Implantats wie eines Hüftgelenks oder eines Stents zu messen.

TotalFocus^?

Die optischen Profilometer der Filmetrics Profilm3D-Serie mit TotalFocus erfassen 3D-Bilder in Echtfarbe, wobei jedes Pixel im Fokus steht. Diese Funktion kann verwendet werden, um Grenzen zwischen Materialien mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften zu unterscheiden.

The options for the Filmetrics^? Profilm3D^? Optisches Profilometer are available to add on with your new product, or in the future. Contact your sales rep to learn more.

Profilm3D-Serie

Das Wei?lichtinterferometer Filmetrics Profilm3D verfügt über einen motorisierten X-Y-Tisch und eine motorisierte Z-Achse mit 100 mm Bewegung und einen manuellen Tip-/Tilt-Tisch. Das System unterstützt phasenverschiebende und vertikale scannende Interferometrie für hochaufl?sende 3D-Oberfl?chentopografiemessungen.

Das Wei?lichtinterferometer Profilm3D-200 von Filmetrics verfügt über dieselben Funktionen wie das Profilm3D, hat jedoch einen gr??eren motorisierten X-Y-Tisch, der einen Verfahrweg von 200 mm x 200 mm unterstützt.

Profilm Software Suite

Das Filmetrics Profilm-Softwarepaket ist umfassend, intuitiv, schnell und benutzerfreundlich. 3D-Datenoperationen und Analysefunktionen wie Levelling, Filterung, Stufenh?he, Rauheit und Oberfl?chen-Topografie-Analysetechniken sind in der Grundkonfiguration enthalten. Profilm unterstützt ISO-Methoden zur Berechnung der Rauheit sowie lokale Standards wie ASME.

Objektive

Der Objektivrevolver mit vier Positionen enth?lt Objektive mit Vergr??erungen von 5X bis 100X, um Nano-, Mikro- und Makrotopografieanwendungen zu unterstützen. Das 5X-Objektiv ist ein Michelson-Interferometrieobjektiv. Die Objektive 10X, 20X, 50X und 100X sind Mirau-Interferometrieobjektive.

Tische

Motorisierte Tische für die X-Y- und eine motorisierte Z-Achse sind beim Profilm3D-System Standard. Der X-Y-Tisch hat eine Bewegung von 100 mm x 100 mm für das Profilm3D und von 200 mm x 200 mm für das Profilm3D-200. Die Z-Achse hat eine Reichweite von 100 mm. Die Bewegung entlang aller Bewegungsachsen ist programmierbar. Ein manueller Tip-/Tilt-Tisch mit ±5° Bewegung ist Standard.

Ein manueller R-Theta-Wafertisch ist ebenfalls für die optischen Profilometer der Profilm3D-Serie erh?ltlich, der Wafer mit einem Durchmesser von 50 mm bis 200 mm unterstützt. Darüber hinaus unterstützt der Profilm3D-200 einen Adapter für die Aufnahme von Wafern bis zu 200 mm.

Accurion Nano30 Series tabletop isolation table

Isolationstische

Die Filmetrics Profilm3D-Serie bietet aktive Vibrationsisolationssysteme der Accurion Nano30-Serie, die elektro-dynamische Antriebstechnologie einer aktiven Vibrationsisolierung in allen sechs Freiheitsgraden verwenden.

step?height calibration standards 10?m, 20?m, 50?m, 100?m, and 200?m

Stufenh?henstandards

Die Filmetrics Profilm3D-Serie umfasst einen ma?geschneiderten Cr-on-Si-Stufenh?henstandard von 10 ?m, der aus einer ge?tzten Stufe mit einer Chrombeschichtung besteht. Ein mehrstufiger H?henstandard ist ebenfalls als Option erh?ltlich, der Stufen von 0,1 ?m, 2 ?m und 4 ?m umfasst.

Profilm3D optical profilometer software 3D visualization of silkscreened print

3D- und Flash-Druck

Der Profilm3D misst diesen Siebdruck auf bearbeitetem Edelstahl problemlos. Messen Sie die Dicke und Gleichm??igkeit der Druckschicht und charakterisieren Sie Delaminierung, Gleichm??igkeit der Abdeckung und Oberfl?chenrauheit. Das Profilm3D-Design bietet eine einfache Probenkonfiguration und eine Softwareschnittstelle zur Optimierung der Fertigung und der Qualit?tskontrolle-Prozessüberwachung.

Metallveredelung / Mikrobearbeitung / Werkzeugbau

Der Profilm3D kann in der Metallveredelung und in der Werkzeugherstellung eingesetzt werden, beispielsweise für die kritische Kalibrierung einer Schneids?ge, bei der Schnitttiefen in ein piezoelektrisches Material quantifiziert werden. Das System misst au?erdem gleichzeitig die Oberfl?chenrauheit und kritische Abmessungen bearbeiteter Komponenten.

Halbleiter

Die Koplanarit?t der Backend-Verpackung ist entscheidend, um eine optimierte Verklebung sicherzustellen. Das Profilm3D generiert schnell Messungen von Koplanarit?t, Teilungsgenauigkeit, Gr??e und mehr. Andere Anwendungen umfassen Maskenherstellung, Lasermarkierung, Fotoresiststrukturierung und andere F&E- und Prozessqualifizierung.

Filmetrics Profilm3D topography map of a miniaturized Fresnel lens

Optik

Dieser Scan zeigt eine miniaturisierte Fresnel-Linse, die durch Elektronenstrahllithographie erzeugt wurde. Für steile Oberfl?chen wie Linsen kann der Profilm3D im "Enhanced Roughness Mode" jetzt eine Neigung von bis zu 60° messen.

Profilm3D measurement of Tetraphenylprophyrin (TPP) thin film on glass

Biologie

Das Profilm3D eignet sich hervorragend für die Messung biologischer Proben, wie diese dünnen Film aus Tetraphenylprophyrin (TPP) auf Glas. Das TPP wurde mit dem 50X Mirau-Objektiv bei 2-fachem Zoom abgebildet, und der Film zeigt Wachstum kristalliner Strukturen. Dieses Bild wurde mit TotalFocus^?-Farbtechnologie erstellt und zeigt die tats?chlichen Farben der Probe.

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Filmetrics^? Profilm3D^? Optisches Profilometer

Filmetrics^? Profilm3D^? Optisches Profilometer

Produktbeschreibung

Merkmale

Anwendungen

Branchen

Stufenh?he

Textur: Rauheit und Welligkeit

Form: Durchbiegung und Form

TotalFocus^?

Profilm3D-Serie

Profilm Software Suite

Objektive

Tische

Isolationstische

Stufenh?henstandards

3D- und Flash-Druck

Metallveredelung / Mikrobearbeitung / Werkzeugbau

Halbleiter

Optik

Biologie

Messtechnikl?sungen für Solarzellen

Auswahl der Objektivlinse

Instruments Gruppe

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Merkmale

Anwendungen

Branchen

Stufenh?he

Textur: Rauheit und Welligkeit

Form: Durchbiegung und Form

TotalFocus?

Profilm3D-Serie

Profilm Software Suite

Objektive

Tische

Isolationstische

Stufenh?henstandards

3D- und Flash-Druck

Metallveredelung / Mikrobearbeitung / Werkzeugbau

Halbleiter

Optik

Biologie

Messtechnikl?sungen für Solarzellen

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TotalFocus^?