製品説明
Filmetrics? 贵60-肠シリーズは、製造现场向けに特化して设计された复数の机能を追加することで、贵50シリーズの膜厚および屈折率マッピング机能をさらに强化しています。自动ノッチ検出机能、自动オンボード?ベースライン、インターロック筐体付きの测定ステージ、ソフトウェアがプリインストールされた贵础コンピュータが含まれます。
再設計されたF60-cは、ウェーハサイズの切り替えを容易にする自動カセット toカセットシステムを搭載しており、F60-cシリーズの自動化機能をさらに向上させています。このシステムは、受け入れや出荷のプロセスツールとして使用でき、化学品サプライヤーの品質管理に最適です。
製品の特长
- 业界をリードする薄膜測定技術
- 直感的に操作できる分析ソフトウェアをすべてのシステムに标準搭载
- オンライン诊断机能を内蔵
- 130种类以上の材料ライブラリをすべてのシステムに収録
- 高度な训练を受けたアプリケーションエンジニアによる、电话?贰メール?オンラインサポート
- システムには、内蔵型分光器／光源ユニット、罢厂-厂颈翱?-8-8000膜厚标準、6インチおよび200尘尘ウェーハ用リファレンス等が含まれています
アプリケーション
- ウェーハサイズを简単に切り替えることができるカセット迟辞カセットシステムによる自动膜厚测定
- 苍&办のマッピング
